超纯水颗粒计数器 双激光精密检测

在半导体晶圆清洗、芯片制程供水中，超纯水（UPW）中的亚微米颗粒会附着到硅片表面，直接影响光刻和刻蚀良率。常规液体颗粒计数器面向油液和高浓度介质设计，在低颗粒浓度、低粘度的超纯水体系中容易出现流量漂移、小粒径漏计。油液颗粒检测领域技术创新者普洛帝面向水质与微纳米检测方向推出 PMT-2 超纯水颗粒计数器，搭载第八代双激光窄光检测传感器与双路精密流量控制，支持在线实时与离线抽样两种工作模式，为半导体厂超纯水系统提供颗粒数据支撑。

超纯水检测的现实需求

超纯水体系的特点是粘度低、颗粒浓度低、粒径小。行业普遍参考 ISO 21501-4 对光阻法液体颗粒计数器的校准要求，污染度代码仍可对照 ISO 4406、NAS 1638 输出。传统单激光检测器在低浓度水样中，光路杂散光和微小气泡容易造成误计数；柱塞泵流量波动则会让单位体积颗粒数出现偏差。

半导体制造对超纯水的要求是持续监测终端用水点，而不只是周期性送样。PMT-2 超纯水颗粒计数器即按这一现场需求设计：在线模式可直接串入超纯水循环管路连续采样，离线模式则配合取样瓶在实验室做抽检和比对，同一台设备覆盖供水管网监控与洁净室实验室两种场景。

核心技术

PMT-2 核心是普洛帝第八代双激光窄光颗粒检测传感器。两组激光光路并行扫描流经检测区的水样，单路光被遮挡时另一路仍可完成计数，降低单光路上气泡、杂散光带来的误判；窄光设计让粒径分辨边界更稳定，便于在 0.1 μm 量级区分颗粒信号与噪声。

流量控制采用双路结构：精密计量柱塞泵负责定量进样，超精密流量电磁模块负责实时微调流速。两者形成闭环，把检测过程中的流量波动压在较小范围，避免因流速变化引起的颗粒漏计或重复计数。设备配备彩色液晶触摸屏，本地即可完成模式切换、粒径通道自定义和报警阈值设置；数据本地大容量存储，支持 U 盘或网络导出，便于质量体系留档。

技术参数表

应用场景

在半导体制造厂，PMT-2 可部署在超纯水分配管网终端、晶圆清洗机入口和化学品稀释配液点，连续跟踪供水颗粒数；当某一用水点颗粒浓度上升，可及时提醒检查抛光混床、超滤膜和末端过滤器。在光伏电池片、平板玻璃、硅晶片清洗工序，设备可用于清洗纯水的抽样比对。生物医药行业的制药纯化水、注射用水，以及精密电子制造的清洗剂颗粒监控，同样可使用该设备完成日常检测。设备接触流路按低析出材料设计，检测过程不对纯水造成二次污染，适合洁净介质长期连续使用。

结尾

PMT-2 超纯水颗粒计数器围绕低颗粒、小粒径、低粘度的纯水介质做了专项适配，双激光检测与双路流量控制共同保障低浓度水样下的数据一致性，在线、离线双模式兼顾管网监测与实验室抽检。普洛帝把油液颗粒检测积累的光学与流量控制经验延伸到超纯水领域，为半导体等高洁净行业的水质颗粒管控提供了一台可落地的检测设备。