手机版
化工仪器网手机版
化工仪器网小程序
官方微信
公众号：chem17
扫码关注视频号
角分辨散射仪的应用特点解析
2024年03月28日 11:03
来源：北京昊然伟业光电科技有限公司
角分辨散射仪是一种重要的分析仪器，它可以用于研究材料的晶体结构、表面形貌和界面结构等方面。可以用于研究金属表面的结构和磁性，以及纳米材料的结构和性质等。此外，还可以用于研究生物大分子的结构和功能，例如蛋白质、核酸等。可以提供样品表面形貌、结构和成分等信息，对于材料和生物大分子的研究具有重要的意义。利用入射的高能电子或中子束与材料中原子核或电子的相互作用，通过测量散射电子或中子的角度分布和能量分布来确定材料的结构信息。
使用光学的办法来测量光刻胶图形的线宽等几何尺寸的仪器称为散射仪。散射仪(scattermetry)的工作原理是：一束光入射在晶圆表面，晶圆表面的光刻胶图形对入射光产生散射和衍射，这些含有表面结构信息的光被探测仪接收。对探测仪器接收的信号做分析，得到晶圆表面光刻胶图形的三维尺寸。
角分辨散射测量系统-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)简易型散射仪 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
特点：
• 体积小，速度快: 测试时间<1s
• 非接触式2D/3D测量
• 高灵敏度/低噪声：Rq<0.5nmt
• 高动态范围≧1013
• 可与轮廓仪直接相连并比较测量结果
关键词：
角分辨散射测量系统-Horos
免责声明
- 凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其他方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
最新产品
采购中心
