液体颗粒计数器在湿电子化学品等级判定中的应用

1、概念：湿化学品是欧美及我国中国台湾地区的称呼（更为普遍），国际上又称工艺化学品，我国习惯称其为超净高纯试剂。

2、应用：湿化学品是超大规模集成电路、平板显示、太阳能电池、晶圆等制作过程中的关键性基础化工材料之一。湿化学品一般要求超净和高纯，对生产、包装、运输及使用环境的洁净度都有很高要求。

3、目的：湿电子化学品的金属杂质含量越低、颗粒度越小，越是可以应用于更为先进的晶圆制程工艺。所以湿电子化学品的核心指标就是“纯净度”。液体颗粒计数器来判定湿化学品的纯度等级，以便对应的企业采购对应级别的产品。

4、检测仪器：PMT-2 液体颗粒计数器，防腐型。采用普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可

对盐酸、硫酸、硝酸、氨水、双氧水、氢氧化钾、氢氧化钠、刻蚀液等化学品进行颗粒检测。有0.1、0.2、0.5三个检测段的传感器供选择。

5、试剂：单酸碱、混合液、溶剂类。

6、检测过程：取一定量溶液；用PMT-2液体颗粒计数器对液样进行检测，将检测结果对照电子化学品SEMI国际标准等级表，来判定溶液的级别。见下表：

7、结论：目前太阳能电池领域仅需要达到G1等级；显示面板领域一般要求达到G2、G3等级；集成电路领域，8英寸及以下晶圆要求达到G3、G4水平，12英寸晶圆需要达到G5等级。国际上制备G1到G5级湿电子化学品的技术已经趋于成熟，国内大部分企业已经达到国际G3标准，并已开展G4标准的研发工作。