贝克曼库尔特便携式空气颗粒计数器MET ONE 3411
贝克曼库尔特便携式空气颗粒计数器MET ONE 3411概述
贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器
MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界领xian的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
应用领域:
专应用于半导体行业的空气颗粒计数:
– 洁净室验证监测
– 洁净室的分级
– ISO14644洁净室验证
– 洁净室颗粒物监测
– 生产过程的连续监测
– 颗粒污染源的排除过程
– HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
– 过滤器扫描
– 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整
贝克曼库尔特便携式空气颗粒计数器MET ONE 3411特点
★ 可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
★ 热插拔电池-百分bai确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
★ 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误
★ 顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
★ 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作
★ 直观的用户界面
简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!
★ 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性*符合 ISO21501-4标准要求。
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